Kitambuzi cha Halijoto na Unyevu kwa Mpango wa Kudhibiti Unyevu wa Chumba cha Semicondukta Safi
Maonyesho ya Bidhaa
Halijotonaunyevu wa nafasi safi huamua hasa kulingana na mahitaji ya mchakato, lakini chini ya hali ya kukidhi mahitaji ya mchakato, hisia ya faraja inapaswa kuzingatiwa.Pamoja na uboreshaji wa mahitaji ya usafi wa hewa, kumekuwa na mwelekeo wa mahitaji makali zaidi ya joto na unyevu.
Kwa kuwa usahihi wa uchakataji ni mzuri zaidi na zaidi, kwa hivyo anuwai ya mabadiliko ya hali ya joto ni kidogo na kidogo.Kwa mfano, katika mchakato wa mfiduo wa lithographic wa uzalishaji wa saketi jumuishi kwa kiwango kikubwa, tofauti ya mgawo wa upanuzi wa mafuta kati ya kioo na kaki ya silicon kama nyenzo ya barakoa inahitajika kuwa ndogo na ndogo.Kipenyo 100 um kaki silicon, joto kupanda 1 shahada, itasababisha 0.24um linear upanuzi, hivyo lazima kuwe na joto la ± 0.1 shahada, wakati huo huo thamani ya unyevu kwa ujumla ni ya chini, kwa sababu watu jasho, bidhaa itakuwa na uchafuzi wa mazingira. hasa hofu ya warsha ya semiconductor ya sodiamu, warsha hii haipaswi kuzidi digrii 25.
Unyevu mwingi husababisha shida zaidi.Wakati unyevu wa jamaa unazidi 55%, umande utaunda kwenye ukuta wa bomba la maji baridi, ambayo itasababisha ajali mbalimbali ikiwa hutokea katika vifaa vya usahihi au nyaya.Wakati unyevu wa jamaa ni 50%, ni rahisi kutu.Kwa kuongeza, unyevu unapokuwa mwingi, vumbi lililokwama kwenye uso wa chip ya silicon litatangazwa kwa kemikali kwenye uso ili kupinga kuondolewa.Kadiri unyevu wa jamaa ulivyo juu, kujitoa ni vigumu kuondoa, lakini wakati unyevu wa jamaa uko chini ya 30%, chembe ni rahisi kutangaza juu ya uso kutokana na hatua ya nguvu ya umeme, na idadi kubwa ya vifaa vya semiconductor kukabiliwa na kuvunjika.Kiwango bora cha joto kwa uzalishaji wa kaki ni 35-45%.
Kwa hiyo, udhibiti wa joto na unyevu ni muhimu hasa, HENGKO inaweza kukupa mfululizo wajoto na unyevunyevu transmita ufumbuzi umeboreshwa usindikaji!
Kitambuzi cha Halijoto na Unyevu kwa Mpango wa Kudhibiti Unyevu wa Chumba cha Semicondukta Safi
Je, huwezi kupata bidhaa inayokidhi mahitaji yako?Wasiliana na wafanyikazi wetu wa mauzo kwaHuduma za ubinafsishaji za OEM/ODM! 
